Власти выбрали главного в России производителя литографических материалов для микроэлектроники

Как выяснил CNews, освоением производства в России материалов для микроэлектронного производства займется Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (НИИМЭ). За эти работы предприятие получит 1,4 млрд руб., следует из ЕИС «Закупки».

В частности, НИИМЭ стал победителем открытого конкурса на выполнение научно-исследовательской работы (НИР) «Разработка и освоение производства литографических материалов для микроэлектронного производства» за 1,1 млрд руб. Речь идет о фоторезистах. Институт был единственным участником конкурса и заключил контракт с Минпромторгом по максимальной цене.

НИИМЭ также стал победителем в конкурсе министерства на НИР «Разработка и постановка на производство реагента для измерения загрязнения пластин катионами металлов рентгено-флуоресцентным методом» за 158 млн руб. и НИР «Разработка технологии производства гидроксида тетраметиламмония» за 187,3 млн руб. В этих двух конкурсах НИИМЭ также был единственным участником. Контракты с министерством были заключены без снижения начальных цен.

Как рассказал представитель НИИМЭ, институт организовал работы по созданию задела для разработки материалов для фотолитографии. НИИМЭ создал единственную в России физико-химическую аналитическую лабораторию для проведения исследований в области контроля качества технологических сред.

По словам представителя института, сейчас многие страны, обладающие собственным микроэлектронным производством, особенно Китай и Южная Корея, стараются наладить или расширить свое производство фоторезистов и другой химии, чтобы избежать зависимости от других государств. Сейчас более 80% всего мирового рынка фоторезистов занимают производители Японии и США. Причем Япония держит большую часть рынка.

На момент публикации материала Минпромторг не ответил на запрос CNews, где можно ознакомиться с программой «Развитие электронного машиностроения на период до 2030 года», в рамках которой предусмотрены работы по созданию фоторезистов.

Тендеры на разработку

Минпромторг опубликовал тендеры на разработку и освоение производства материалов в феврале 2023 г. В тендерных документах отмечалось, что все материалы производители используют для изготовления интегральных микросхем и ранее, до введения санкций, российские заказчики закупали их за рубежом.

В рамках самой дорогостоящей НИР, заказанной Минпромторгом, предполагается создание фоторезистов для использования в процессе фотолитографии с длинной волны актиничного лазерного излучения 248 нм. Фоторезисты — это разновидность светочувствительных полимеров, которые в процессе изготовления микросхем наносятся на кремниевую пластину. Далее производится экспонирование фоторезиста литографической системой через окна фотошаблонов, с последующим «вытравливанием» дорожек на кремниевом кристалле.

НИИМЭ должен будет выполнить не только теоретические и экспериментальные работы в этом направлении, но и провести испытания опытных партий фоторезистов, а также подготовить и освоить их производство.

Потенциальными потребителями материалов в документе указаны «Микрон» и «НМ-тех». Работы должны быть выполнены до 12 декабря 2025 г.

Помимо самих фоторезистов, необходимо и оборудование для работы с ними. Его производство в России также пока отсутствует. Однако в ноябре 2021 г. стало известно о том, что в России к ноябрю 2026 г. за 5,7 млрд руб. создадут фотолитографическое оборудование для печати процессоров.

Чем известен НИИМЭ

Согласно официальному сайту института, НИИМЭ — это российский научно-исследовательский центр по проведению научно-технологических исследований в области микро- и наноэлектроники, разработке и производству полупроводниковых изделий. Институт основан 9 марта 1964 г. Сейчас в нем работает более 500 специалистов-разработчиков.

НИИМЭ проводит научные исследования и опытно-конструкторские работы в рамках программ по развитию элементной базы, по изготовлению кристаллов интегральных микросхем в режиме Foundry для предприятий-партнеров, а также по разработке и освоению серий интегральных микросхем и полупроводниковых приборов.

Другие подрядчики Минпромторга

Помимо перечисленных работ, Минпромторг заказал НИР на разработку и постановку на производство особо чистого гексафторида вольфрама, бромистого водорода, реагента для измерения загрязнения пластин катионами металлов рентгено-флуоресцентным методом и других необходимых материалов для производства чипов.

В этих конкурсах Минпромторга победителями стали Инжиниринговый химико-технологический центр (НИР «Разработка и постановка на производство бромистого водорода» за 260,6 млн руб.) и НИИ «Научно-производственное объединение “Луч”» («Разработка и постановка на производство особо чистого гексафторида вольфрама» за 260 млн руб.). На участие в этих конкурсах также было подано только по одной заявке. При этом оба победителя снизили цену контрактов — на 1,1 млн руб. и 27,6 млн руб. соответственно.

В совокупности на обеспечение производителей ЭКБ материалами Минпромторг выделил 2,2 млрд руб.