26.08.25 14:44
Отечественное производство высокочистого бромистого водорода (HBr) запущено в Томске Инжиниринговым химико-технологическим центром (ИХТЦ) при Томском государственном университете (ТГУ), пишет ТАСС.
Бромистый водород применяется для очистки поверхности кремниевых пластин, поясняет CNews. Планируется ежегодно выпускать 650 кг HBr с чистотой 99,999% (5N).
«Чистота вещества играет ключевую роль. Присутствие даже следовых примесей может нарушить работу оборудования или остановить производственный процесс в микроэлектронике», — сказала руководитель проекта Ася Водянкина.
Разработчикам пришлось также создать аналитическую систему для обеспечения точного контроля качества продукции. Таких методик не было в России. Они позволяют определять критически важные примеси — хлороводорода, воды, металлов и пр.
Сейчас HBr привозится из-за рубежа, в первую очередь из Китая и Европы. Отечественное производство поможет снизить зависимость от иностранных поставщиков.
Поставки бромистого водорода в Россию попали под антироссийские санкции. Химики ТГУ разработали собственную технологию с использованием только российских реагентов в 2023-2024 гг., указано на сайте вуза.
В рамках программы по развитию отечественной линейки сверхчистой химии ИХТЦ реализовал также технологию производства тетракис(диметиламино) титана (TDMAT), а к концу 2025 г. планирует завершить работы по внедрению в производство трибромида бора 99,99995%.
