Нидерландская компания ASML разработает сканеры с ухудшенными характеристиками для обхода санкций США и поставок в Китай

Нидерландская компания ASML намерена разработать особую версию сканеров для полупроводниковой DUV-литографии, которые будут специально адаптированы для рынка Китая. Такие сканеры будут иметь уменьшенные характеристики и будут соответствовать последним требованиям США, что позволит поставлять их в Китай без специальных разрешений на экспорт.

Если проект осуществится, китайские производители чипов, такие как SMIC, Hua Hong и другие, смогут продолжать использовать нидерландское оборудование для изготовления полупроводников по 28-нм и более старым технологиям. Однако такое оборудование не даст им возможности производить более современные чипы, пишет Securitylab.

Конкретно речь идет о системе Twinscan NXT:1980Di — это самый простой сканнер в линейке ASML на сегодняшний день. Тем не менее система имеет оптику с числовой апертурой 1,35 и разрешение менее 38 нм, что достаточно для 7-нанометровых и даже более современных полупроводников. Фактически, этот сканер, представленный еще в 2016 году, использовался TSMC для разработки 7-нм технологии.

Специальное снижение качества оборудования для предотвращения выпуска SMIC и другими китайскими компаниями чипов до 28 нм вполне реально. Учитывая, что большая часть доходов SMIC приходится на продажу чипов, изготовленных по технологиям от 28 нм и выше, вероятно, что китайские компании могут быть заинтересованы в покупке даже таких инструментов у ASML.

Последние экспортные ограничения США требуют от американских компаний и граждан получать специальные лицензии на экспорт инструментов и технологий, которые могут производить чипы с трехмерными транзисторами соответствии с 14/16-нм и более современными техпроцессами, 3D NAND-память с 128 и более слоями и DRAM-память в соответствии с техпроцессами до 18 нм. Эти же ограничения распространяются и на неамериканские бизнесы, которые используют компоненты из США, в том числе речь идет о Twinscan NXT:1980Di компании ASML.

По новым правилам экспорта Нидерландов ASML должна получать лицензии на экспорт сканеров Twinscan NXT:2000i китайским производителям чипов. Хотя ASML еще не производила версию оборудования с ограниченными возможностями, если ситуация с ограничениями по экспорту не изменится, такой вариант может быть рассмотрен.